薄膜介电测量系统
FDMS系列薄膜介电测量系统技术规格探针臂个数：4个或6个AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz测量温度：-160℃~400℃/10K~675K测量参数：Z,Ø,L,C,R,Q,D,Y,G,B,X降温时间：~45min to 110K
FDMS系列薄膜介电测量系统测量原理样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
Partulab CPS系列低温真空探针台 配置： CPS-7000 低温真空探针台 （二选一） --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台 --SRS CTC-100温控仪及传感器 --液氮传输系统 CPS-8000 低温真空探针台 （二选一） --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台 --SRS CTC-100温控仪及传感器 PPS-90 真空辅助系统 --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量 VSZ70KIT 可视化视觉系统 --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源
Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）配置：6500B 精密阻抗分析仪--6510测量频率 20Hz 至 10MHz --测量参数Z, Ø, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X； --精度0.05% ；--可选±40V直流偏压 Partulab DielectricMeaskit 测量套件配置：FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough--4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆；CSH-DE 介电同轴样品固定座--模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好； DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具--阻抗50欧姆的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm； PA-DE 介电测量探针臂--介电用的测量探针臂，带热沉 ；MEMS多功能材料电学测量分析软件--附带全套介电功能测量分析软件