高温介电温谱测量系统之高温介电夹具校准方法

三琦电子精密型高温介电夹具

WK6500B系列精密阻抗分析仪或WK6500P高频LCR表

100欧电阻器件（圆柱型）

短路垫片（圆盘型）

镊子

使用四根测试线缆连接三琦电子高温介电夹具与WK6500仪器，确保线缆与接口之间接触良好；

调节千分尺，使得介电夹具的上下两电极没有接触，处于开路状态；

打开WK6505P仪器，按键MODE (主菜单)，屏幕选项Calibrate进入校准界面；

Open circuit Trim校验，确保当前介电夹具的上下两电极没有接触，处于开路状态,点击屏幕的OPEN， 再点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；

Short circuit Trim校验，使用镊子夹持短路垫片平稳放入介电夹具的下电极中间，并确保短路垫片没有接触到保护电极；

再调节介电夹具上的千分尺，使得上电极与短路垫片保持良好接触，这样，上下两电极通过短路垫片构成了一个短路状态（为了更清楚的看到短路垫片安装的位置，下图中的上电极与短路垫片未接触）；然后，再点击 SHORT，再点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；

HF Comp(高频校验)取出短路垫片，调整WK6500仪表模式参数如下：l  项  目 1： Cl  项  目 2： Dl  等效电路： 并联l  测试频率： 10KHzl  测试电压： 1V

固定千分尺上的向上滑块螺丝，确保在向下调整的过程中，上电极不会向上滑动。接着再打开千分尺开关ON/OFF按钮；

首先使用千分尺的粗调使得上电极慢慢接近下电极，待上下两电极之间的间距在1-2mm时，开始使用细调慢慢调节，一边调节，一边观察此时WK6500屏幕上的C值，直到C值在98pF-102pF之间,记下千分尺当前显示的值（此步骤主要为步骤13校准100pF做准备工作）；

调节千分尺，使得100欧电阻器件夹在上下两电极中间（为了更清楚的看到100欧电阻器件安装的位置，下图中的上电极与100欧电阻器件未接触），并保证接触良好；

点击HF Comp。出现“connect 100R transfer standard to fixture 请放入100R电感校准器”提示框，点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；

取出100欧电阻器件，调节千分尺，调整到步骤9记下的数值（100pF），这里建议等待10秒的时间让当前的测试环境处于一种比较稳定的状态。出现“connect 100pf transfer standard to fixture 请放入100pf电容校准器”提示框，点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；

待校准通过后，按下两个“save”按钮（开短路和高频校准），存储当前校准值。在LCR仪器重新开机后，该测试夹具的校准结果依然保存在系统内，无须再重复校准。