低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量。
工具/原料
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CPS-7000低温真空探针台 CPS-8000低温真空探针台
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配件
CPS-7000低温真空探针台
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液氮液氦制冷平台
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分子泵机组
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三维位移平台
CPS-8000低温真空探针台
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技术规格：温度范围：10k-325k（10K GM制冷机），4.5K-325K（4K GM制冷机）； 高温选件温度范围：50k到500K；控温稳定性：+50mK； 降温时间：~3-4hours； 最大样品尺寸：直径50mm； 频率范围：测量DC到67Ghz； 真空环境：~10-5-10-6mbar； XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm； 顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）； 四个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。
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GM制冷机
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三维位移平台
4
分子泵机组