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激光干涉仪测量导轨直线度原理方法

机床导轨直线度误差是被测导轨实际线对其理想直线的变动量,对给定平面内导轨直线度误差常用激光干涉仪进行测量。
工具/原料
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SJ60000激光干涉仪

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导轨

原理和方法
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1.测量原理SJ6000激光器射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束并入射到直线度反射镜中,经直线度反射镜反射后,沿着新光路返回到直线度干涉镜中,经直线度干涉镜合束后返回激光器的进光口,由光电探测器、分析器完成计数和测量。通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的相对横向位移的变化,进行直线度测量。

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2.测量方法SJ6000激光干涉仪搭配直线度测量光学镜组搭载在导轨上,当反射镜组随着导轨移动时,CT70正交触发盒可以监控光栅位置反馈信号,同步触发SJ6000激光干涉仪采集并记录当前位置的直线度读数。测量前在SJ6000激光干涉仪静态测量软件上设置直线度运行程序,测量结束将自动生成分析曲线,即可得到导轨直线度的运行轨迹,继而可以针对性地调校存在直线度超差的点位,大大提升了导轨安装调校工序的效率,以及导轨的精度。下图是测长机导轨经过调校后的直线度运行轨迹,其最大偏差小于3μm。END

注意事项

为了最小化振动作用并加强测量稳定性,SJ6000激光干涉仪的镜组应牢靠固定到所需的测量点上,同事确保吸装的表面平坦且没有杂质。

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