匀胶机用于实验室项目建设.作为用于除半导体外,还有硅片、芯片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,科研、教学之用高精度涂敷甩胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
工具/原料
匀胶机、光刻胶
方法/步骤
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1、尺寸选择,根据尺寸的不同选择不同大小的机型,是首要的条件,没有必要6英寸的基片选择8英寸的机型,除非后期会有8英寸的基片,建议如下1 最大不超过6英寸的圆片/5英寸*5英寸的方片,选择 23NPP;2 如果有超过6英寸,不超过8英寸的圆片/7英寸*7英寸的方片,选择8NPP;3 如果有超过8英寸,不超过12英寸的圆片/9英寸*9英寸方片,选择15NPP
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2、最小尺寸,决定了基片的下限,提高了机器适用范围一般的可以涂覆到10mm的片子,有些优秀产品可以涂敷小到3mm的碎片
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3、转速范围的选择最高转速一般都12000RPM,这没有什么稀奇的。主要是看最小稳定转速,有些进口国产设备,他们的最小稳定转速只能做到300RPM,好一点的可以做到100RPM,而像迈可诺的匀胶机可以到50 RPM,这反映了马达的精准可控性,也为重复试验打下基础
注意事项
除以上几点,还有看速度精度、售后服务、文献多少等事项
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