超纯水机之所以能够高效的过滤原水，使其达到一个可靠的产水状态，离不开反渗透膜与精密滤芯的重要作用，为了稳定其工艺性能，用户必须了解超纯水机精密滤芯与反渗透膜的维护方式
反渗透膜
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反渗透膜是超纯水机中十分重要的部件，其孔径非常小，所以在使用过程中常常有细菌等微观物质淤积在其表面，一般各个厂家的纯水机都有反冲洗功能，旨在洗掉污染物。
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用水量在10升/天以内，可以冲洗3-5次，超过10升，则多冲洗几次。如果长时间(如1个月以上)不用，需要将其取出浸泡在消毒液里，避免细菌的滋生，不过该过程比较麻烦，建议即使不用水，都经常开机用少量的水，让机器内部的水形成流通，尽量减少死水的沉积时间过长。
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反渗透膜的寿命在2-3年，主要由客户的用水量来决定，所以用户在选购的时候一定要选择所匹配的规格。
精密滤芯
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精密滤芯又称过滤滤芯，分线绕滤芯和PP熔喷滤芯，主要过滤原水中的泥沙等大的颗粒物，其过滤精度有5微米、1微米等。
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新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙等，呈现褐色，这就表示该滤芯不能用了，用自来水冲洗掉表面淤泥后，可以勉强继续使用1-2周，但不能长期使用。滤芯放在滤瓶里面，有的滤瓶是透明的，可以直观地观察滤芯的颜色变化，有些滤瓶是不透明的，需要将其拧开后才能观察滤芯的变化。
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从经验数据统计来看，精密滤芯的寿命一般在36月，如原水的泥沙多，则其寿命短些，泥沙等颗粒物少，则寿命稍长一点。