高科技厂房之半导体或光电等设备制程，因为建筑物本身、人员走动及内部机械与周遭环境之扰动而产生共振，进而导致产品不良率的增加；为有效降低微振动对产品不良率之影响，应使机械设备于符合微振动标准之环境下运作。采用KM Instrument之数据采集振动分析仪KMbalancerⅡ完成，KMbalancerⅡ振动分析系统包含便携式机器状态监测故障诊断单元，搭配美国CTC振动加速度传感器和KMVS振动分析软件。
工具/原料
1
KMbalancerII
2
振动加速度传感器
方法/步骤
1
在KMVS振动分析软件中，编辑好要测量的点位数，测量的变量与频率等，将编辑好的路径下载到KMbalancerII主机上，连接仪器的黄色接口进行传输；
2
将KMbalancerII主机连接好光电传感器，选择需要测量的位置，在路径中找到对应的点位进行三个方向的测量；
3
采集好的数据保存在仪器的主机中；
5
通过软件进行分析检测的数值，看检测的数据能达到VC-E~VC-A的标准中哪 一档，是否符合现场的需求。
注意事项
微振动检测时附近尽量减少人员的走动。