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硅片如何保存

硅片清洁极为重要,硅片保存可分为大片保存和管芯保存,本经验对硅片如何保存作了介绍,供参考。
工具/原料

小塑料袋、化学瓷坩埚、玻璃培养皿、玻璃干燥器、定性滤纸等

方法/步骤
1

单晶片和外延片的保存;可将抛光后的单绵国婶晶片或外延片装入一样大小的小塑料袋内,每袋装一片,或背靠背可装二片,然后,将小塑料袋叠好,装入尺寸定做的硬纸盒内,盒内上部多余空间再放点小包硅胶防潮,盖上盒盖后,在盒盖表面再写上批次、型号、入库时间、数此爬量等。

2

当要使用单晶片和外延片时,只要从仓库按需取出,然后将硅片从爹拒塑料袋内小心取出,放入化学瓷坩埚内进行化学清洗,清洗完了最后用去离子水冲净烘干即可使用。

3

如果是化开的小芯片保存,则只要用小烧杯或玻璃培养皿进行超声清洗后再烘干,烘干后如短期存放就直接放在干净的玻璃培养皿内盖上,然后再放入有磨口的玻璃干燥器内。

5

当要使用小芯片时,只需取出用丙酮——乙醇超声机上清洗,最后用去离子水冲净烘干即可使用。

注意事项
1

本经验由百途门生和您们共同分享。

2

本经验仅供参考,更多相关问题请咨询有关行家。

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