第一步：初期清扫初期清扫就是以设备为中心，彻底的清扫灰尘、垃圾等。“清扫”的过程就是检查，利用我们的五感检查发现设备存在的问题，发现潜在的缺陷，并及时进行处理。我们常常用来形容过程的要点是：掏内脏（开盖）、脱黄袍（去脏乱）、漆见本色铁见光（还原）。
第二步：发生源与困难部位的对策为了保持第一阶段初期清扫的成果，就要杜绝灰尘、污染等的根源（即发生源），对此可采取消除或者加盖密封等对策。对于维护保养或者操作比较困难的部位，如加油、清扫、除污等，可采取对设备进行改造或者开发清扫工具等有效对策，提高设备的维护保养的可操作性。
第三步：制作自主维护临时基准根据一二步活动的基础，结合设备的清扫点检及加油内容，编写一个临时基准，明确如何保养自己分管的设备，如清扫、点检、加油、紧固的部位、频次、方法、人员、注意事项等。请设备管理人员初步评估后，按照基准进行设备自主维护保养。便于持续改进及后期的标准化工作
第四步：综合检查为了充分发挥设备的固有功能，要学习设备的结构、功能自己判断标准，了解设备性能。检查设备各主要部分的外观，发现设备的缺陷并复原，同时使自己掌握必要的检查技能。经过学习后，对之前编写的临时基准进行补充和完善。
第五步：自主检查在第三步编写的清扫、点检、润滑基准的基础上，结合第四步学习的内容，对设备进行检查维护并遵照执行的过程，就是自主检查。当然，过程中，还需要不断的学习和熟悉设备的操作、设备的安全、质量和设备关联等内容，在自主检查的过程中，操作人员具有正确使用设备的能力，并且能够提前发现和预知设备异常，避免带病作业等问题。
第六步：标准化以现有设备为中心的活动，向其他外围设备、整个工厂进行扩大活动范围，全员参与。在掌握上面五个步骤的基础上，发展为对整个工厂进行维持，对现场进行5S管理，包括工具、模检具、半成品等，彻底的进行整理整顿清扫清洁，形成基准，监督检查，便于人员按照要求进行遵守。
第七步：自主管理的彻底化通过以上六个步骤，在设备和现场提升的同时，人员的能力和水平也得到了锻炼。第七步就是要建立起持续改进的意识，不断地进行PDCA循环，将自主管理进行彻底化。