怎样判断硅片质量
工具/原料
1
硅片
2
卡尺
方法/步骤
1
看:看表面是否光滑,边角切口是否平整,有无崩边缺角!好的应该是光滑,无弯曲,无裂痕,切口平整,无崩边缺角!
2
摸:使用橡胶薄手套,细细摸表面是否有线痕和凹凸感!好的应该无线痕和无凹凸感!
3
使用工具卡尺,量出硅片的厚度,在任一点的厚度在200um±20um
4
最后上专业机械测试效率值!
注意事项
戴手套接触硅片
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