工业用水指工业生产过程中使用的生产用水及厂区内职工生活用水的总称，不同行业对工业用水水质要求是不同的，根据水质可分为原水、清水、软化水、脱盐水、纯水等。超纯水工艺在系统设计上通常分为前段、中间段和后段三个部分。
工具/原料
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工业水 反渗透膜 超纯水
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盐 树脂 有机物 纯净水
方法/步骤
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前段(预处理段)，是对原水进行前期处理，改善供水水质，使之达到反渗透进水要求，减少、延缓膜的污染、延长膜寿命。
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中间段(反渗透段)，是整个纯水系统中非常重要的区段，起到承前启后的作用。其处理对象主要是水中有机物(如三卤甲烷中间体、胶体、悬浮物、微生物、细菌、藻类、霉类等)、热源、病毒等物质，流体经前三级预处理后的水经反渗透RO膜深层分离处理后，生产出纯净水进入纯水箱，脱盐率可达98%，根据具体情况可分一级和二级反渗透。
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后段(抛光段)，一般用在工艺末端，用来更进一步提高产水水质。目前常使用EDI（连续电脱盐水外理工艺），来替代传统的离子交换装置，生产出电阻率高达 18MΩ·cm 的超纯水。
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纯水前处理脱盐处理工艺中主要使用的是2B3T与EDI(电去离子）工艺。2B3T工艺由阳床、阴床和脱碳塔组成。而EDI将电渗析技术和离子交换技术相融合，通过阴、阳离子交换膜的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场作用下，实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，同时水的电解离产生的氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行再生。
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