步骤1：初期清扫 初期清扫也是清洁的开始。操作人员应自己动手，彻底清除常年堆积的灰尘、污垢，恢复设备的本来面目。另外，清扫的过程中还应该拆除不必要、近期不使用的物品或设备，使现场达到最能有效开展工作的状态。 清扫的重点是通过清扫、给油、锁紧重点螺丝、写标签、取标签等对设备进行整备，使一些基本的问题，如垃圾、灰尘、油污、切削屑等都能在本步骤中一一解决。在清扫中进行点检时，应以与设备故障缺陷相关的部位和问题为着眼点。
步骤2：污染源及难点问题对策 消除废弃物、尘埃、污垢的发生源；解决清扫清即难于清扫的部位和易于污染的部位，对于难于清扫的部位，要设计相应的清洁工具和方法，对于易污染的部位，要设计防护罩，以彻底解决问题，缩短作业时间。同时，学习改善设备的思考方法，以取得实质上的效果。 对废弃物、尘埃污垢的发生源现状进行分析，找出发生源产生的原因，制定相应的计划和对策，逐一立项，有计划、有步骤地解决。同时，指导操作人员学习设备点检和保养的方法，使他们养成良好的设备点检的习惯，成为一个合格的现场操作工人。
步骤3：制定自主保养临时基准书 建立自主管理体系，是防止设备劣化的基本条件，当然这个体系不是一成不变的，而是随着外界条件的改变进行相应的变化。在步骤1和2中，操作者已经掌握了设备应该保持的基本现状，TPM小组下一步要制定快速有效地进行基础保养和防止劣化的措施，如清洁、润滑、紧固的标准和规范，实践和创新目视化管理。
步骤4：总点检 首先由TPM小组长进行点检程序的培训，培训教材是维护主管编制的总点检手册。随后，依照点检手册实施点检技能教育，提升员工的技术水准。总点检的过程一般要持续很长的时间，这也是操作工人检查异常能力的训练过程，是培养优秀工人最好的方式。 由单体机械总点检的实施，找出设备细微缺陷，并予以复原，使设备恢复到原有的状态。把设备改善成容易点检的状态，同时彻底实施目视管理。总点检工作主要针对螺丝、螺母、润滑、油压、空压、驱动、电气、安全、加工条件等方面进行。
步骤5：自主点检 通过实施制造程序的性能、操作调整法、异常处置法的教育训练，可以培养精于制造程序的操作人员，提高他们操作的信赖度。可以把清扫点检暂行基准并入制成以区域为单位的定期点检，并更换基准以避免点检的重复或遗漏，缩短点检时间。 这个步骤主要针对到步骤4为止的实施状况，如对设备的基本条件、准备情况、弱点部位的改良和对策等进行再确认。另外，目视管理、工作效率化也是本步骤的重点。经过自主点检，员工可以培养良好的习惯和能力，对于设备的结构和性能也将更加熟悉。
步骤6：整理、整顿 整理，即识别应该加以管理的工作场所，并制定相应的标准。这也整理整顿的目的是减少和简化需要管理的内容，实施自主保养，明确系统流程，确保自主保养的品质和安全。 同时，整理整顿可以改善制造程序转换的准备时间及半成品库存量，确立现场物流及备品、工具、半成品、成品资料等的自主管理体制，使自主保养活动的标准化、规范化、目视化在企业贯彻实施。
步骤7：自主管理的彻底化 自主管理彻底化的目的是从现场排除浪费，以推行降低成本活动。记录保养情况，并加以分析，以求更进一步改善设备。彻底改变工作人员的作风，使员工充满自信和成就感，能够持续自觉地进步。 将“坚持自主保养”作为生产部门的工作任务，把“自主保养”的管理方针，明确提出向“零事故、零故障、零短暂停机”的目标迈进。定期组织举办“自主保养”的成果交流，定期举办自主维修工作研讨会，建立持续改善的机制。