常见的真空检漏方法和应用领域

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，目前是检测精度达到最高的一种检测方法。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作为一种追踪气体的气密性检测仪器。由前级泵、分子泵、质谱室、真空计等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。华尔升智控代理全球氦质谱检漏仪，分析喷氦法、吸枪法和真空箱法是氦质谱检漏仪在检漏中最常用的几种方法。