体位：治疗前先将痰液咳出以免妨碍雾滴深入。雾化吸入时取坐位、半坐位或侧卧位，尽量避免仰卧位，必须仰卧位时需将床头抬高30°。治疗时患者需进行慢而深的吸气，吸气末梢停片刻，这样会使雾滴吸入更深。
药量：雾化液每日新鲜配制。通常每次吸入10～20分钟，每日2～3次，一疗程1～2周。吸入时必须从小剂量开始，待适应后再逐渐加大剂量，直到吸完全部药液为止。切不可一开始就用大剂量，因大量的冷雾气急剧进入气道会使气道平滑肌痉挛，导致憋气、呼吸困难加重。
长期雾化吸入治疗的病人，所用雾化量必须适中。如果湿化过度，可致痰液增多，对危重病人神志不清或咳嗽反射减弱时，常可因痰不能及时咳出而使病情恶化甚至死亡。如果湿化不够，则很难达到治疗目的。
观察：雾化吸入时水蒸汽可很好湿化气道但喷出的雾气有一定的压力，排斥口鼻周围空气进入呼吸道，降低了氧的吸入。因此，对喘憋、呼吸不畅和缺氧严重以及肺炎合并心衰的患者，须先改善上述症状、加大吸氧量后再予以雾化吸入，且吸入时间宜短不宜长，每次5分钟左右，防止因此而加重缺氧状态。雾化吸入期间要注意观察病情变化。如果出现咳嗽、气促等症状，就应立即停止雾化吸入，加大吸氧量，拍背，喝水，待症状缓解再考虑下一次雾化吸入治疗。同时检查雾化液温度、剂量及体位是否合适，进行必要的调整。治疗后1～2小时内注意拍击患者胸背，并鼓励患者咳嗽。
一些用于雾化吸入的药物，如痰易净、必嗽平、a-糜蛋白酶、高渗盐水等无可刺激支气管而引起反射性支气管痉挛，对支气管哮喘病人尤易发生。所以必要时须预先或同时吸入支气管扩张剂。特别是哮喘持续状态的病人更应分外小心。
过多长期使用生理盐水雾化吸入，会因过多的钠吸收而诱发或加重心力衰竭。
要避免雾化吸入治疗的呼吸道交叉感染，应做到：雾化器在使用前必须严格消毒，每天更换1次；不使用时，整个系统内不应有液体存留，以免细菌滋生；雾化治疗时应使用无菌溶液。
注意防止局部吸入某些药物（如氨茶碱、庆大霉素等）的同时，进行全身治疗也使用同类药物，致使毒性叠加而造成严重后果。